高功率脉冲磁控溅射沉积薄膜技术与应用会议程序册
高功率脉冲磁控溅射沉积薄膜技术与应用会议程序册（2017年6月9-10日，上海)主办单位：中国机械工程学会表面工程分会承办单位：中国机械工程学会表面工程分会大连理工大学武汉材料保护研究所哈尔滨工业大学支持单位：特种表面保护材料及应用技术国家重点实验室深圳市科益实业有限公司保定赛利涂层技术有限公司苏州分公司中国机械工程学会表面工程分会表面技术装备专业委员会（surfacility）德国新格拉斯科技集团深圳市真空技术行业协会西安文理学院中国科学院兰州化学物理研究所西安交通大学东北大学重庆大学协办单位：上海时空展览服务有限公司
近年来，薄膜技术蓬勃发展，高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)作为一种利用高脉冲峰值功率和低脉冲占空比实现高离化率的溅射新技术，可控制涂层微结构、降低涂层内应力，获得优异膜基结合力和致密度的高性能薄膜，该技术在国外研究领域和工业界受到了广泛关注和重视。高功率脉冲磁控溅射技术作为一种最新发展起来的物理气相沉积技术，在国内同样日益受到重视和工业界的广泛关注。中国机械工程学会表面工程分会作为全国性的学术组织，已经成功举办了十多届全国表面工程大会和海峡两岸薄膜科技会议，聚集了一大批国内从事薄膜技术研究、教学和装备制造方面的专家和学者。为了促进我国表面工程新技术的发展，推动我国高功率脉冲磁控溅射技术的研究和应用，经中国机械工程学会表面工程分会协商确定，于2017年6月9-10日在上海召开“高功率脉冲磁控溅射沉积薄膜技术与应用会议”。热烈欢迎国内从事薄膜技术研究与应用的科技工作者参会！一、会议日程安排会议日程安排
时间内容地点参加人员
6月7~9日2017中国（上海）国际真空镀膜技术及设备展览会暨第九届上海国际新材料展览会上海新国际博览中心W1（上海市龙阳路2345号）全体与会人员
6月9日全天会议注册上海开元•曼居酒店（罗山店）大堂全体与会人员
18:00～20:00自助晚餐一楼艾提厅
20:00～21:30高校与企业对接交流会二楼行政厅
6月10日7:00～9:30早餐一楼艾提厅全体与会人员
08:20～08:50开幕式四楼开元厅
08:50～12:00会议报告四楼开元厅
12:00～13:00午餐一楼泰雅厅
13:30～16:00会议报告四楼开元厅
16:00～18:00讨论交流四楼开元厅
18:30～20:00晚宴一楼泰雅厅
6月11日会议疏散
会务组和酒店联系电话：段金弟（13971036507）、周勇（13917165057）上海开元•曼居酒店（罗山店）会议负责人：刘经理（15601851180）
高功率脉冲磁控溅射沉积薄膜技术与应用会议开幕式和报告安排
6月10日 会议开幕式和报告安排 地点：四楼开元厅
日期时间内容主持人
6月10日08:20-08:50开幕式段金弟
时间会议报告主持人
08:50-09:20深振荡高功率脉冲磁控溅射技术及应用大连理工大学 雷明凯教授李刘合
09:20-09:50高功率脉冲磁控溅射电源控制及PVD硬膜应用哈尔滨工业大学 田修波教授
09:50-10:20高功率脉冲磁控溅射技术工业化应用存在的主要问题及对策研究核工业西南物理研究院 陈庆川研究员
10:20-10:30茶歇
10:30-11:00利用HiPIMS制备TiN薄膜过程中电子与离子的作用探析北京航空航天大学 李刘合教授田修波
11:00-11:30HiPIMS强化薄膜材料及其关键技术中国科学院宁波材料技术与工程研究所 汪爱英研究员
11:30-12:00 CEMECON在HIPIMS技术上的最新研发和应用成果保定赛利涂层技术有限公司苏州分公司张建明 副总经理 销售总经理
12:00-13:30午餐（一楼泰雅厅）及午休
13:30-13:50以溅射为使命，从微型设备到巨无霸尺寸德国新格拉斯科技集团 张振昊 博士（大中华区技术总监）吴忠振
13:50-14:10中频叠加高功率脉冲磁控溅射制备硬质纳米复合薄膜结构性能研究重庆大学 孙德恩教授
14:10-14:30放电电压对高功率脉冲磁控溅射沉积AlCrN涂层结构与性能的影响中国航天科技集团公司五一〇所 郑军高级工程师
14:30-14:50HiPIMS沉积TiAlSiN纳米复合涂层的耐磨抗氧化性能研究大连理工大学 李玉阁博士美国西南研究院 林健凉博士
14:50-15:10孪生靶高功率脉冲磁控溅射技术制备氧化铝热控膜层研究上海航天设备制造总厂工艺研究室主任 鞠鹏飞高级工程师孙德恩
15:10-15:30调制脉冲磁控溅射沉积柔性硬质TiAlSiN纳米复合涂层研究大连理工大学陈辉博士
15:30-15:50从阴极角度考虑HiPIMS痛点及解决路径探讨北京大学深圳研究生院 吴忠振特聘研究员
15:50-16:00茶歇
16:00-18:00讨论交流雷明凯 田修波
18:30-20:00晚宴（一楼泰雅厅）段金弟
二、支持媒体中国表面工程 材料保护 表面技术三、会议地点及日程（一）会议地点上海开元•曼居酒店（罗山店）（上海市浦东新区罗山路1609号）（二）会议日程2017年6月9-10日6月9日：会议注册及报到6月10日：交流报告（9：00~12：00，13：30~16：00）专题讨论（16：00~18：00）欢迎参观同期活动：2017中国（上海）国际真空镀膜技术及设备展览会暨第九届上海国际新材料展览会地点：上海新国际博览中心W1（上海市龙阳路2345号）时间：2017年6月7-9日四、会议注册及住宿（一）注册会务费：正式代表 1000元/人，学生代表800元/人（以学生证为准），随从及家属800元/人，统一安排食宿，住宿费用自理。（二）住宿1、上海开元•曼居酒店（罗山店）（距离上海新国际博览中心约200米）标准间和大床房（单间）360元/间.天（含早）豪华房420元/间.天（含早）2、会议地点附近快捷酒店：汉庭，锦江之星等。五、交通会议不安排车接送，请代表自行前往会场。以下为乘车路线线路一、虹桥机场（虹桥火车站）——会场虹桥机场（虹桥火车站）至酒店有2种方式：（1）打车，距离约30公里；（2）乘坐地铁2号线转地铁7号线到花木路地铁站，步行10分钟到达酒店；线路二、浦东机场——会场浦东机场至酒店有三种方式：（1）打车，距离约34公里；（2）乘坐磁悬浮列车，只需要7分钟就可到龙阳路地铁站(40元)，然后打车起步价达到酒店；（3）乘坐地铁2号线到龙阳路地铁站，然后打车起步价达到酒店。
六、会议联系方式中国机械工程学会表面工程分会 联系人：段金弟 联系方式：13971036507 027-8361 4523 电子邮件：djd430030@sina.com 联系地址：武汉市宝丰二路126号 邮政编码：430030
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