特种微细加工技术都有哪些种类

admin

现行机械加工技术向着微小极限方向发展，也取得了令人瞩目的成就。这些微细加工技术与半导体微细加工技术相比，在三维复杂结构成形方面有明显的优势，其批量制作可以通过模具加工、电铸、注塑等方法实现。但是在与电路集成方面有待探讨。下面就来具体介绍一下。

1、 微细电火花加工

电火花加工是利用工件和工具电极之间的脉冲性火花放电，产生瞬间高温使工件材料局部熔化和气化，从而达到蚀除加工的目的。电火花加工的特征时加工力小，其加工精度主要取决于电器而非机械装置，并能够加工极硬的导电性材料和复杂形状。电火花加工由于其非机械接触加工的特点适合微细加工。微细电火花加工由于电流小，亦能够加工硅等半导体高阻抗材料。

实现微细电火花加工的关键在与微小轴（工具电极）的在线制作、微小能量放电电源、工具电极的微量伺服进给、加工状态检测与系统控制以及加工工艺方法等等。

对微细电火花加工技术的不断研究探索，已使其在与微型机械制造结合及实用化方面取得了长足的进展，其加工对象由简单的圆截面微小轴、孔拓展到复杂的微小三维结构。

特种微细加工技术都有哪些种类

2、 光成形微细加工

光成形加工已经被尝试勇于微细结构的制作，无疑为制作三维立体微结构提供有益途径。光成形加工首先利用一种紫外硬化树脂作为被加工材料，当树脂受到紫外线照射时，可又业态变为固态，控制曝光方式，即可成形各种三维结构。

光成形微细加工具有许多工艺方法无可比拟的特点，可加工成形树脂或金属材料的高深宽比三维结构、无需焦光班大小应与扫描间隔匹配，光斑小于扫描间隔时结构容易断裂，反之影响成形尺寸精度。

特种微细加工技术都有哪些种类

3、 其他微细加工方法

机械切削加工，由于切削力的产生，一般认为不适于微型机械的加工制作。但是超精密加工已经成功地制作出尺寸在10—100微米的为小三微构件。机械加工出的三维微小构件与压电薄膜的热液制作结合，试制出振动陀螺结构。超精密切削加工亦可用于三维复杂形状的微小型致动器的制作。

在微细电火花加工装置和方法研究开发的基础上，针对玻璃、硅基材料等的加工，微细超声加工技术得到开发。以制作微型构件的模具和X射线光刻掩模版为应用背景的铣削加工工艺，采用聚焦离子束加工告诉钢材料的铣削道具。

在极限的微细加工方面，应用扫描隧道显微镜技术，在探针尖端进行原子、分子级表面加工。这种技术不但使人们可以以单个原子的分辨率贯彻物体的表面结构，而且也为以单个原子为加工单位的加工提供可能途径。

随着人们对于精度的高要求，特殊微细加工技术已经成为一种未来的发展趋势。所以，对于机械加工的厂商来说，多了解相关知识对于提高生产有十分大的帮助。